下载一种二维材料电阻式随机存取存储器件的制备方法的技术资料

文档序号:46586355

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本发明属于电阻式随机存取存储器技术领域,具体涉及一种二维材料电阻式随机存取存储器件的制备方法。本发明在衬底上表面通过光刻制备底电极凹槽,在底电极凹槽中设置底电极,得到嵌入式底电极片;然后在嵌入式底电极片上涂覆前驱体溶液,通过热固化和退火处理...
该专利属于厦门大学所有,仅供学习研究参考,未经过厦门大学授权不得商用。

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