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本发明公开了一种氮化镓基温度传感器、制备方法及应用，属于传感器技术领域。氮化镓基温度传感器包括：半导体功能层，具有相互电学隔离的晶体管功能区和电阻功能区，晶体管功能区和所述电阻功能区内均分布有二维电子气；源极、漏极和栅极，设置于晶体管功能区...
该专利属于江西省纳米技术研究院所有，仅供学习研究参考，未经过江西省纳米技术研究院授权不得商用。

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