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本申请公开了一种输送装置，该输送装置用于晶棒的接收与输送。且该输送装置包括抬升组件、夹持组件和滑动组件。其中，抬升组件包括第一承载件，该第一承载件用于接收并承载晶棒，且第一承载件具有沿竖直方向的移动自由度。夹持组件位于抬升组件的上方，且夹持...
该专利属于宁夏晶环新材料科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过宁夏晶环新材料科技有限公司授权不得商用。

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