下载一种基于全息光刻图形衬底的带量子点填充的三维网格NO2气体传感结构的技术资料

文档序号:46578286

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本发明公开了一种基于全息光刻图形衬底的带量子点填充的三维网格NO2气体传感结构。利用多光束干涉与多层曝光技术制备三维全息光刻网格图形衬底,选用高透光率的硅单质作为衬底材料,并通过一系列步骤实现三维网格图形衬底的制备;采用静电纺丝技术制备酞菁...
该专利属于吉林农业大学所有,仅供学习研究参考,未经过吉林农业大学授权不得商用。

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