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本发明提供一种用于超声分子束的束流特性集成分布测量系统，涉及超声分子束注入技术领域，解决了现有技术难以满足真空环境兼容及多参数同步测量要求的局限问题。系统中，辉光放电模块在真空室内产生并维持辉光放电，使已有气体电离形成等离子体；SMBI模块...
该专利属于核工业西南物理研究院所有，仅供学习研究参考，未经过核工业西南物理研究院授权不得商用。

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