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本申请提供了一种电压调节器使用该调节器的电源系统，包括设置于电源与等离子体室的脉动器之间，包括阻抗元件和开关，阻抗元件与开关串联；阻抗元件远离开关的一端连接于电源的第一输出端与脉动器的第一输入端之间的电路上；开关远离阻抗元件的一端连接于电源...
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