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本申请提供了一种双模谐振式传感器，涉及传感器技术领域，包括：单谐振器，其谐振梁两侧设有第一差分检测电极对、第二差分检测电极对和驱动电极对；第一差分检测电极对对称设于谐振梁中部的两侧，用于检测单谐振器的一阶模态振动信号；第二差分检测电极对对称...
该专利属于中国科学院空天信息创新研究院所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院空天信息创新研究院授权不得商用。

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