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本发明涉及光阻剂技术领域,公开了一种光阻剂的合成方法,包括如下步骤:将2‑(2’‑羟基‑5’‑特辛基苯基)苯并三氮唑、多聚甲醛、复合催化剂和有机胺混合均匀,混合液于反应釜中通过两步升温反应,反应后产物经二甲苯析出、过滤和干燥,制得光阻剂;其...该专利属于浙江永合新材料科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过浙江永合新材料科技有限公司授权不得商用。
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本发明涉及光阻剂技术领域,公开了一种光阻剂的合成方法,包括如下步骤:将2‑(2’‑羟基‑5’‑特辛基苯基)苯并三氮唑、多聚甲醛、复合催化剂和有机胺混合均匀,混合液于反应釜中通过两步升温反应,反应后产物经二甲苯析出、过滤和干燥,制得光阻剂;其...