下载一种高致密度掺杂氧化锌靶材的制备装置的技术资料

文档序号:46539985

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本发明公开一种高致密度掺杂氧化锌靶材的制备装置,包括制备箱体、混料组件和成型组件,所述制备箱体上方的一侧固定安装有混料组件,所述制备箱体的内部活动安装有成型组件,通过将精确配比氧化锌粉末与掺杂剂粉末一起导入混料组件中进行混合加工再通过成型组...
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