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绝缘栅型半导体装置制造方法及图纸
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下载绝缘栅型半导体装置的技术资料
文档序号:46539306
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提供一种绝缘栅型半导体装置,能够实现沟槽间的台面部的微细化。绝缘栅型半导体装置具备:第一导电型的漂移层(1);设置在漂移层(1)上的第二导电型的基区(3a~3d);设置在基区(3a~3d)的上部的第二导电型的接触区(5a~5d);设置在基区...
该专利属于富士电机株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过富士电机株式会社授权不得商用。
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