下载绝缘栅型半导体装置的技术资料

文档序号:46539306

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提供一种绝缘栅型半导体装置,能够实现沟槽间的台面部的微细化。绝缘栅型半导体装置具备:第一导电型的漂移层(1);设置在漂移层(1)上的第二导电型的基区(3a~3d);设置在基区(3a~3d)的上部的第二导电型的接触区(5a~5d);设置在基区...
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