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本发明涉及轮廓检测设备技术领域，公开了一种晶体轮廓测量装置及测量方法，包括横向移动的载体，载体前侧横向滑动设置有由弹性件支撑的补偿座，补偿座上转动安装有齿轮，载体前侧横向设置有与齿轮啮合的齿条，齿轮前侧安装有枢转座，枢转座一端安装探针，枢转...
该专利属于秦皇岛微晶科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过秦皇岛微晶科技有限公司授权不得商用。

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