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本发明公开了一种防倒灌的半导体尾气的处理装置，涉及半导体尾气处理技术领域，包括底座和设于底座顶部的下部塔体，下部塔体的顶部连接有中部塔体，中部塔体的顶部连接有上部塔体，固定环框中部内设有十字撑板，下部塔体的下部内设有分流机构；分流机构上方设...
该专利属于江苏晨达半导体科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏晨达半导体科技有限公司授权不得商用。

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