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本申请提供一种射频功率调节电路、射频电源设备及射频电源系统。射频功率调节电路包括N个功率调节单元以及控制单元，每个功率调节单元均包括耦合模块和功率调节模块，射频功放单元用于向负载输出射频电能，每个功率调节模块并与对应的耦合模块连接。每个耦合...
该专利属于深圳市瀚强科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳市瀚强科技股份有限公司授权不得商用。

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