下载一种连续加料装置及加料速度控制方法的技术资料

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本发明涉及硅单晶炉技术领域,具体涉及一种连续加料装置及加料速度控制方法,其中加料装置包括竖直安装在单晶炉上并延伸至坩埚上方的进料管,以及滑动安装在单晶炉一侧设置的机架上的料仓,料仓底部设置有竖直的出料管,出料管的输出端与进料管的输入端通过水...
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