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本发明涉及加热设备技术领域，且公开了用于半导体清洗的超纯水在线加热设备，包括可用于半导体清洗的超纯水加热罐，超纯水加热罐的底部中心处固定有出水管，超纯水加热罐的表面设置有防护组件，防护组件的表面设置有搅拌装置，搅拌装置的表面设置有下料结构，...
该专利属于凌恒半导体设备（苏州）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过凌恒半导体设备（苏州）有限公司授权不得商用。

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