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本申请公开一种用于磁控溅射镀膜屏蔽工件架的防着装置及磁控溅射镀膜设备。防着装置包括形成镀膜窗口的框架，所述框架为多段式结构，由多个连接段依次拼接而成，所述连接段包括直线段和转角段，所述转角段设置在相邻两直线段之间，该两直线段分别为第一直线段...
该专利属于安徽越好电子装备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过安徽越好电子装备有限公司授权不得商用。

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