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一种产生均匀等离子体刷阵列的装置及方法制造方法及图纸
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文档序号:46532436
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本发明提出一种产生均匀等离子体刷阵列的装置及方法,涉及低温等离子体刷产生技术领域,包括储气罐、供气管路、矩形介质气道、针电极阵列和高压交流电源,储气罐通过供气管路与矩形介质气道连接,矩形介质气道呈竖直设置,且矩形介质气道的一端敞开,矩形介质...
该专利属于河北大学所有,仅供学习研究参考,未经过河北大学授权不得商用。
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