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本发明提供了一种基体表面金属测试方法，属于半导体领域。该基体表面金属测试方法包括提供一待检测的基体，所述基体表面具有氧化层；采用氟化氢蒸汽去除基体表面的氧化层；将去除氧化层的基体在设定温度下，加热处理之后降温；降温处理之后，采用扫描液萃取基...
该专利属于上海新昇半导体科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海新昇半导体科技有限公司授权不得商用。

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