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本发明涉及半导体领域，公开了一种液体分配系统及分配方法，包括过滤器、呼吸腔、存胶腔以及涂胶腔；过滤器用于过滤外部输入的光刻胶；呼吸腔内设置有弹性隔膜，弹性隔膜用于暂存光刻胶；存胶腔用于存储待喷涂的光刻胶；涂胶腔内设置有驱动件和滚动膜片，驱动...
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