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本发明属于半导体材料制备技术领域，提供了一种SACVD制备硼磷硅玻璃的方法，所述方法包括以下步骤：将晶圆置于SACVD装置的加热盘上进行加热，在SACVD装置中通入反应保护气至反应压力并保持稳定状态；将气态反应源通入SACVD装置的尾气处理...
该专利属于江苏邑文微电子科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏邑文微电子科技有限公司授权不得商用。

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