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本公开的实施例涉及光学邻近校正模型的校准方法、电子设备及存储介质。该方法包括：基于版图中预定图形的仿真图形和对应于预定图形的晶圆图像确定光学邻近校正OPC模型的成本函数的值，其中沿预定图形的第一方向以及与第一方向非垂直的第二方向设置的标尺被...
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