温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明涉及半导体加工设备技术领域，具体是涉及一种半导体陶瓷加热盘的平面度检测装置及其检测方法，包括升降对接装置、旋转调节轴、贴合模拟板、移动检测装置、移动调节台、自清理检测桶、限位固定装置和连接座；升降对接装置安装在工作台的上方；旋转调节轴...
该专利属于爱利彼半导体设备（上海）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过爱利彼半导体设备（上海）有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。