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本发明提供一种涂层石英坩埚及其制备方法，所述石英坩埚内壁涂覆有氮化硅涂层和氮化硼；所述氮化硅涂层中，以纳米二氧化硅的质量计，氮化硅与氮化硼和硅溶胶的质量比为3:1.5:1~3:2.5:1。该涂层石英坩埚通过在石英坩埚内部设置含有硅溶胶和氮化...该专利属于浙江美晶新材料股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过浙江美晶新材料股份有限公司授权不得商用。
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