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本技术涉及等离子体屏蔽罩烧结技术领域，具体涉及一种等离子体塔型ICP结构屏蔽罩烧结装置及下压单元，包括底座、旋转座、分度头、两个导杆、两个移动座、两个锁定单元和丝网，旋转座与底座固定连接，旋转座的一端与分度头转动连接，分度头上安放有陶瓷腔，...
该专利属于苏州子山半导体科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州子山半导体科技有限公司授权不得商用。

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