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本发明涉及测试设备智能控制技术领域，公开了基于工业数据处理的半导体器件测试设备控制系统及方法，其中，基于工业数据处理的半导体器件测试设备控制方法包括：采集半导体器件测试设备的多源异构数据并进行预处理；构建结构因果模型，利用结构因果模型通过反...
该专利属于深圳市华测半导体设备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳市华测半导体设备有限公司授权不得商用。

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