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本发明提供了一种寄生碳化硅的去除方法，包括采用甲硅烷和含氢气和氟化氢气体的无氧清洁气体，保持清洁腔室内的清洁温度不低于1300摄氏度，清洁压力不低于100mbar下去除寄生碳化硅，有利于提升清洁速率。利用氢气对氟化氢气体起到稀释作用，同时兼...
该专利属于蓝河科技（绍兴）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过蓝河科技（绍兴）有限公司授权不得商用。

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