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本技术涉及一种晶圆扫片切换机构，属于晶圆检测技术领域。该机构包括基座，基座顶部设有扫片移动气缸、复位传感器、移动到位传感器、对射型扫片光纤传感器、切换气缸、切换连杆机构、8寸和12寸扫片传感器及感应片。8寸扫片传感器在12寸扫片传感器上方，...
该专利属于立川（无锡）半导体设备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过立川（无锡）半导体设备有限公司授权不得商用。

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