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本发明公开了一种自动对键合点进行力学检测的检测机以及检测方法,涉及芯片、电路板键合强度检测领域,包括推拉力检测设备和多组检测模组,推拉力检测设备的侧面设置有用于卡合检测模组的模组安装治具,模组安装治具的侧面设置有用于锁定检测模组的锁止机构,...该专利属于世谋微电子(泰州)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过世谋微电子(泰州)有限公司授权不得商用。
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