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本公开涉及真空设备技术领域，公开了一种粒子束成分测量装置，包括真空腔体、气体源、低温泵和残余气体分析仪。气体源与真空腔体真空密封连接，用于产生粒子束。低温泵包括泵腔，泵腔与真空腔体真空密封连接并连通，泵腔包括残余气体分析仪接口。残余气体分析...
该专利属于费勉仪器科技（上海）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过费勉仪器科技（上海）有限公司授权不得商用。

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