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本申请公开了多功能终点检测窗口，具体涉及一种用于化学机械抛光的抛光垫，该抛光垫包括：抛光层，该抛光层具有抛光表面、与抛光表面相反的抛光层界面表面和从抛光表面延伸至抛光界面表面的抛光窗口区域表面；子垫层，该子垫层具有与抛光层界面表面相邻的子垫...
该专利属于杜邦电子材料控股股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过杜邦电子材料控股股份有限公司授权不得商用。

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