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本发明涉及研磨用组合物。本发明的课题在于，提供一种能够对包含有机膜的研磨对象物进行高速研磨的研磨用组合物。本发明的进一步的课题在于，提供一种能够抑制研磨后磨粒残留的研磨用组合物。一种用于对研磨对象物进行研磨的研磨用组合物，其包含磨粒和液体介...
该专利属于福吉米株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过福吉米株式会社授权不得商用。

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