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本技术公开了一种退火后硅片激光加工设备，其包括加工台，所述加工台的上方安装有凸轮分割器，所述凸轮分割器的输出轴固定安装有转动杆，所述转动杆表面的顶部固定连接有转动盘。本技术通过将需要背面开槽的硅片装入上料管的内腔，凸轮分割器驱动转动杆和转动...
该专利属于正奇光能科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过正奇光能科技有限公司授权不得商用。

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