下载硅棒磨削系统和硅棒加工生产线的技术资料

文档序号:46519250

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本技术涉及硅棒加工的技术领域,尤其涉及一种硅棒磨削系统和硅棒加工生产线,包括第一X轴滑台,磨削机构连接在第一X轴滑台上;磨削机构包括支撑架、以及均支撑在支撑架上的打磨机构和倒角机构,支撑架支撑在第一X轴滑台上,倒角机构位于打磨机构沿X方向的...
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