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本发明公开了一种测量LDI光刻机平台运动栅格误差的方法，通过平台重复步进并记录标记点位置向量、平台位置坐标的步骤，完成标记板上Y方向或X方向标记点位置向量和平台位置坐标数据，计算平台在每个位置相对上一位置对应的栅格误差变化量和相对于起始位置...
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