温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

提供一种基于衍射的套刻标记测量装置、方法及测量系统，该装置包括光源、照明模块、工件台以及探测模块，该照明模块包括照明光纤和照明单元，照明光纤用于将光源导入照明单元，照明单元用于生成入射光束；工件台用于承载晶圆及带动晶圆运动，该晶圆上形成有套...
该专利属于上海芯上微装科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海芯上微装科技股份有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。