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正型感光性树脂组合物、硬化膜、附硬化膜的基板的制造方法及层叠体的制造方法技术
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文档序号:46515476
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本发明涉及一种正型感光性树脂组合物,其在形成图案状硬化膜时,可使形状保持性、残膜率、耐热性及接着强度皆为高水平。本发明的正型感光性树脂组合物包含:(A)含有不饱和基的碱可溶性树脂;(B)聚合性化合物;(C)光聚合引发剂;(F)感光材;及(H...
该专利属于日铁化学材料株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过日铁化学材料株式会社授权不得商用。
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