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本发明涉及一种蒸发源、包括其的沉积系统及利用其的蒸发源更换方法。根据本发明的一个实施例的蒸发源包括容纳沉积材料的圆筒形状的坩埚；配置于所述坩埚的上端的喷嘴部件，所述喷嘴部件具有从所述喷嘴部件的上面向喷射所述沉积材料的方向凸出的多个喷嘴尖端。...
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