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本技术涉及真空气动截止阀技术领域，具体为一种半导体设备真空气动截止阀。其包括阀体、设置于所述阀体的阀盖、穿过所述阀盖并伸入所述阀体的阀杆、与所述阀杆连接的气动执行机构、以及设置于所述阀杆的阀瓣，所述阀体与所述阀盖之间设置有阀盖垫片，所述阀盖...
该专利属于大连大高阀门股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过大连大高阀门股份有限公司授权不得商用。

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