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本申请公开了一种防碰撞夹爪装置，涉及晶圆加工技术领域，防碰撞夹爪装置包括相对设置的两个夹持机构以及驱动两个夹持机构沿第一方向靠近或远离的驱动机构；各夹持机构包括至少一个夹爪，夹爪包括连接部和夹持部，连接部具有沿第二方向相对的上端和下端，夹持...
该专利属于捷螺智能设备（苏州）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过捷螺智能设备（苏州）有限公司授权不得商用。

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