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本申请提供一种电子源模组和电子束直写机，所述电子源模组包括：所述电子源模组包括：阵列式电子源基板(1)，在所述阵列式电子源基板的第一个主面(1‑1)上形成有复数个电子发射单元(2)；以及局部温控机构(3)，其与所述阵列式电子源基板(1)接触...
该专利属于上海集成电路材料研究院有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海集成电路材料研究院有限公司授权不得商用。

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