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提升多晶硅钝化和接触性的方法及太阳能电池的制备方法技术
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下载提升多晶硅钝化和接触性的方法及太阳能电池的制备方法的技术资料
文档序号:46511615
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本发明属于太阳能电池技术领域,提供一种提升多晶硅钝化和接触性的方法及太阳能电池的制备方法,该提升多晶硅钝化和接触性的方法包括:在硅片表面制备隧穿氧化层;在隧穿氧化层表面制备第一杂原子掺杂非晶硅层;杂原子为C、N、O中的一种或多种;在第一杂原...
该专利属于泰州中来光电科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过泰州中来光电科技有限公司授权不得商用。
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