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本发明公开了一种循环超声介质辅助超声波剥离碳化硅的方法，包括以下步骤：S1.将近红外飞秒激光压缩至衍射极限聚焦至碳化硅晶圆内部300um处，控制激光以逐层扫描方式在碳化硅晶圆内部形成厚度为100um的连续脆性改质层，S2.利用紫外激光沿碳化...
该专利属于广州三义激光科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过广州三义激光科技有限公司授权不得商用。

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