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本申请提供一种规整装置及检测设备，规整装置包括承载件、定位组件及驱动件，承载件包括承载面和第一限位面，承载面用于承载硅片；定位组件包括第一定位件和两个第二定位件，第一定位件具有第二限位面，第二限位面与第一限位面沿第一方向相向设置，两个第二定...
该专利属于拉普拉斯（无锡）半导体科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过拉普拉斯（无锡）半导体科技有限公司授权不得商用。

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