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本发明公开了低温干法镀CrN/Al₂O₃纳米叠层真空镀膜工艺及设备，涉及真空镀膜技术领域，包括低温干法镀CrN/Al₂O₃纳米叠层真空镀膜设备，包括外壳和注气组件：外壳：内部固定有内层环，所述内层环的内部固定有放置架，所述外壳内部的后端安装...
该专利属于深圳市瑞泓塑胶五金镀膜技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳市瑞泓塑胶五金镀膜技术有限公司授权不得商用。

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