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使用借助电极在固体电介质上通过被介电地阻挡的气体放电产生的等离子体处理表面的装置制造方法及图纸
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下载使用借助电极在固体电介质上通过被介电地阻挡的气体放电产生的等离子体处理表面的装置的技术资料
文档序号:4649708
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按本发明提出了一种用等离子体(2)处理表面的装置,所述等离子体(2)借助电极(1)在固体电介质(3)上通过被介电地阻挡的气体放电产生,其中,该装置具有一个作用表面(4),该作用表面在所述处理期间直接地与等离子体(2)邻接,其中,所述作用表面...
该专利属于奇诺格有限责任公司所有,仅供学习研究参考,未经过奇诺格有限责任公司授权不得商用。
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