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本技术公开了一种晶圆环变距上料装置。包括固定工装、上料机构、调整机构；所述上料机构上设置有调整机构，所述调整机构上设置有固定工装，所述固定工装内设置有上料工位，所述上料机构输出端位于上料工位下方；所述调整机构包括旋转座、旋转机构、移动机构，...
该专利属于无锡固翌智能科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过无锡固翌智能科技有限公司授权不得商用。

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