下载一种深紫外镀膜加工用超声波清洗器的技术资料

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本发明涉及清洗器的技术领域,特别是涉及一种深紫外镀膜加工用超声波清洗器,包括清洗箱和箱盖,清洗箱的内部设置清洗腔室,清洗箱的顶部设置与清洗腔室连通的取放口,箱盖铰链安装在清洗箱的取放口上;还包括电机、驱动轴、托盘、两个超声波发生器和元件工装...
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