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一种半导体芯片在线测试装置制造方法及图纸
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下载一种半导体芯片在线测试装置的技术资料
文档序号:46492216
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本发明提供了一种半导体芯片在线测试装置,具体涉及芯片性能测试技术领域,包括测试箱,测试箱的一侧顶部安装有主控制器,所述测试箱内腔的中部固定设置有垂直隔热板,通过垂直隔热板与水平隔热板将测试空间划分为独立的低温测试区和高温测试区,水平隔热板顶...
该专利属于深圳市友恩半导体有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过深圳市友恩半导体有限公司授权不得商用。
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