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本技术涉及离子泵技术领域，且公开了一种减少离子泵的抽氩不稳定性的结构，包括有：阳极、钛阴极以及钽片，所述钛阴极整体呈片状结构，钛阴极设置在阳极的两侧，且钛阴极与阳极之间留有缝隙；所述钽片设置在钛阴极朝向阳极的一侧，且钽片设置有多片；所述钽片...
该专利属于上海三井光中真空设备股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海三井光中真空设备股份有限公司授权不得商用。

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