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本发明公开了一种半导体基板等离子清洗设备，涉及等离子清洗领域，包括箱体，箱体具有真空腔，真空腔顶部、底部分别设置射频电极板、接地电极板，箱体一侧设置箱口，箱体外侧转动安装外箱门，外箱门通过门锁用于从外部封闭箱口，真空腔底部转动安装内箱门，内...
该专利属于爱佩克斯（合肥）科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过爱佩克斯（合肥）科技有限公司授权不得商用。

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